- Tytuł:
- Ellipsometric Evaluation of the Optical Constants of Zirconium Oxynitride Thin Films Deposited by Reactive Pulsed Magnetron Sputtering
- Autorzy:
- Tomsah, I.
- Data publikacji:
- 2013-07
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
-
81.15.Gh
61.05.C-
78.66.-w - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł