- Tytuł:
-
Mechanical Properties And Microstructure Of AlN/SiCN Nanocomposite Coatings Prepared By R.F.-Reactive Sputtering Method
Właściwości mechaniczne i mikrostruktura powłok nanokompozytowych AlN/SiCN wytworzonych metodą reaktywnego rozpylania jonowego RF - Autorzy:
-
Nakafushi, Y.
Matsuda, K.
Nose, M. - Data publikacji:
- 2015
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Czytelnia Czasopism PAN
- Tematy:
-
AlN
SiCN
XRD
sputtering
TEM
dyfrakcja promieniowania rentgenowskiego
rozpylanie - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł