- Tytuł:
-
Badania doświadczalne czujnika MEMS przy wykorzystaniu wibrometru laserowego
Experimental testing of MEMS pressure sensor using laser vibrometer - Autorzy:
-
Kasprowiak, M.
Jasiewicz, M.
Powałka, B.
Parus, A. - Data publikacji:
- 2014
- Wydawca:
- Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
- Tematy:
-
badania doświadczalne
czujnik ciśnienia MEMS
wibrometr laserowy
experimental tests
MEMS pressure sensor
laser vibrometer - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł