- Tytuł:
- Influence of RF ICP PECVD process parameters of diamond-like carbon films on DC bias and optical emission spectra
- Autorzy:
-
Oleszkiewicz, W
Markowski, J
Srnanek, R
Kijaszek, W
Gryglewicz, J
Kovac, J
Tlaczala, M - Data publikacji:
- 2013
- Wydawca:
- Politechnika Wrocławska. Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
- Tematy:
-
PECVD
diamond-like carbon layers
OES
Raman spectroscopy
AFM - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł