- Tytuł:
- Selective Cu Electrodeposition on Micrometer Trenches Using Microcontact Printing and Additives
- Autorzy:
-
Shim, Jinyong
Lee, Jinhyun
Yoo, Bongyoung - Data publikacji:
- 2021
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Czytelnia Czasopism PAN
- Tematy:
-
µCP
selective Cu deposition
RDL
overburden
SAM(alkanethiol)
additives - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki