- Tytuł:
- A new chemical mechanical slurry for polishing yttrium aluminium garnet material with magnesium oxide, sodium metasilicate pentahydrate and zirconium dioxide abrasive particles
- Autorzy:
-
Duc, Le Anh
Hieu, Pham Minh
Quang, Nguyen Minh - Data publikacji:
- 2023
- Wydawca:
- Wrocławska Rada Federacji Stowarzyszeń Naukowo-Technicznych
- Tematy:
-
chemical-mechanical polishing
yttrium aluminum garnet
magnesium oxide
abrasive particles - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł