- Tytuł:
-
Odchylanie wiązki elektronów dużej mocy w urządzeniach EB-PVD
Magnetic deflection of the high energy electron beam in EB-PVD devices - Autorzy:
-
Sielanko, W.
Czopik, A.
Jędrzejczyk, M.
Kulabko, A.
Krawczyk, S.
Kozłowski, M. - Data publikacji:
- 2007
- Wydawca:
- Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Eksploatacji - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
wiązka elektronów
WE
układ odchylania
EB-PVD
electron beam
EB
deflection system - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł