- Tytuł:
- Methane cracking and secondary hydrocarbon generation in inductively coupled RF plasmas
- Autorzy:
-
Tabarés, F. L.
Alegre, D.
Mozetič, M.
Vesel, A. - Data publikacji:
- 2012
- Wydawca:
- Instytut Chemii i Techniki Jądrowej
- Tematy:
-
plasma
RF discharges
hydrocarbon cracking
methane reforming
plasma-assisted chemical vapour deposition (PACVD)
carbon films - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł