- Tytuł:
- Structure and Electrical Resistivity Dependence of Molybdenum Thin Films Deposited by DC Modulated Pulsed Magnetron Sputtering
- Autorzy:
-
Wicher, B.
Chodun, R.
Nowakowska-Langier, K.
Okrasa, S.
Król, K.
Minikayev, R.
Strzelecki, G.
Zdunek, K. - Data publikacji:
- 2018
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Czytelnia Czasopism PAN
- Tematy:
-
magnetron sputtering
modulated pulse magnetron sputtering
plasma&films characterization - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki