- Tytuł:
-
Badanie mikroporowatości polerowanej powierzchni płytek krzemowych w celu dostosowania sposobu ich wytwarzania do nowych wymagań jakościowych
Study of micro-roughness of the polished surface of silicon wafers aimed at fulfilling the new quality requirements - Autorzy:
-
Piątkowski, B.
Szymański, S. - Data publikacji:
- 2012
- Wydawca:
- Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
- Tematy:
-
płytki krzemowe
mikrochropowatość powierzchni
silicon wafers
surface micro-roughness - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł