- Tytuł:
- Investigations of the Implanted Layer in Silicon Based on the Modulated Free Carrier Absorption Phenomenon
- Autorzy:
-
Maliński, M. A.
Chrobak, Ł. B.
Bychto, L.
Pawlak, M. - Data publikacji:
- 2013
- Wydawca:
- Politechnika Koszalińska. Wydawnictwo Uczelniane
- Tematy:
-
semiconductors
ion implantation
nondestructive testing techniques
półprzewodniki
implantacja jonów
nieniszczące techniki badań - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł