- Tytuł:
- Evaluation of electrical resistivity, residual stress and surface roughness of sputtering indium tin oxide films with different thicknesses
- Autorzy:
-
Tien, Chuen-Lin
Lin, Tsai-Wei
Su, Shu-Hui - Data publikacji:
- 2021
- Wydawca:
- Politechnika Wrocławska. Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
- Tematy:
-
indium tin oxide
magnetron sputtering
residual stress
surface roughness - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki