- Tytuł:
- Study on etching anisotropy of Si(hkl) planes in solutions with different KOH and isopropyl alcohol concentrations
- Autorzy:
-
Rola, K. P.
Zubel, I. - Data publikacji:
- 2011
- Słowa kluczowe:
-
anisotropic etching
silicon surface
potassium hydroxide
isopropanol concentration
(hkl) planes - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł