- Tytuł:
- Surface morphology of titanium nitride thin films synthesized by DC reactive magnetron sputtering
- Autorzy:
-
Talu, S.
Stach, S.
Valedbagi, S.
Elahi, S. M.
Bavadi, R. - Data publikacji:
- 2015
- Słowa kluczowe:
-
atomic force microscopy (AFM)
AFM
DC
reactive magnetron sputtering
fractal analysis
surface roughness
titanium nitride
TiN
thin film - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech