- Tytuł:
- Reaktywne trawienie jonowe heterostruktur AlGaN/GaN w plazmie Cl₂/BCl₃
- Autorzy:
-
Gryglewicz, J.
Oleszkiewicz, W.
Wośko, M.
Szyszka, A.
Paszkiewicz, B. - Data publikacji:
- 2011
- Słowa kluczowe:
-
reaktywne trawienie jonowe
plazma
DC bias
heterostruktura AlGaN/GaN
reactive ion etching
plasma
AlGaN/GaN heterostructure - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł