- Tytuł:
- Tlenki dielektryczne wytwarzane metodą osadzania warstw atomowych w niskich temperaturach dla zastosowań w elektronice jako izolatory
- Autorzy:
-
Gierałtowska, S.
Wachnicki, Ł.
Witkowski, B. S.
Godlewski, M.
Guziewicz, E. - Data publikacji:
- 2012
- Słowa kluczowe:
-
tlenki o wysokiej stałej dielektrycznej
warstwy kompozytowe
metoda osadzania warstw atomowych
high-k dielectric oxides
composite layers
Atomic Layer Deposition method - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech