- Tytuł:
- Osadzanie i charakteryzacja cienkich warstw dielektrycznych AlOxNy
- Autorzy:
-
Firek, P.
Veklych, A.
Sochacki, M. - Data publikacji:
- 2016
- Słowa kluczowe:
-
dielektryczne warstwy AlOxNy
kondensator MIS
reaktywne osadzanie magnetronowe
osadzanie magnetronowe
charakterstyka elektryczna
pomiary C-V
pomiary I-V
AlOxNy dielectric thin films
MIS structure
reactive magnetron sputtering
electrical characterization
C-V measurements
I-V measurements - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł