- Tytuł:
- Optoelektroniczny system przestrzennego monitoringu wzbudzenia plazmy w procesach syntezy optycznych warstw diamentopodobnych
- Autorzy:
- Bogdanowicz, R.
- Data publikacji:
- 2010
- Słowa kluczowe:
-
diagnostyka optyczna in-situ
przestrzennie zorientowana optyczna spektroskopia emisyjna
plazma mikrofalowa
warstwy DLC
optical in-situ monitoring
spatially resolved optical emission spectroscopy
microwave plasma
DLC films - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł