- Tytuł:
- Odchylanie i modelowanie rozkładu energii wiązki elektronów w urządzeniu EB-PVD
- Autorzy:
-
Kozłowski, M.
Sielanko, W.
Czopik, A.
Jędrzejczyk, M.
Olszewska, K. - Data publikacji:
- 2009
- Słowa kluczowe:
-
wiązka elektronów (WE)
układ odchylania
rozkład energii WE
EB-PN/D
electron beam (EB)
deflection system
energy distribution of EB
EB-PVD - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł