- Tytuł:
-
Materiały Elektroniczne 1979 nr 1(25)
Metoda kontrolowanego zaokrąglania płytek krzemowych
Metoda kontrolowanego zaokrąglania płytek krzemowych = The method of the controllable silicon wafer edge rounding - Autorzy:
- Grudzieński Andrzej
- Współwytwórcy:
-
Tomaszewski Jacek
Nossarzewska-Orłowska Elżbieta - Data publikacji:
- 1980
- Wydawca:
- Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"
- Słowa kluczowe:
-
silicon wafer
zaokrąglanie krawędzi
płytka krzemowa
edge rounding
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
Electronic - journal - materials
Elektronika - czasopismo - materiały - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka