- Tytuł:
-
Epitaksja krzemu na krzemie porowatym = Silicon epitaxy over porous silicon
Materiały Elektroniczne 1995 T.23 nr 3
Epitaksja krzemu na krzemie porowatym - Autorzy:
- Nossarzewska-Orłowska Elżbieta
- Współwytwórcy:
-
Lipiński Dariusz
Brzozowski Andrzej
Pawłowska Marta - Data publikacji:
- 1995
- Wydawca:
- ITME
- Słowa kluczowe:
-
silicon epitaxy
krzem porowaty
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
fizyczno-chemiczne osadzanie z fazy gazowej
CVD
porous silicon
epitaksja krzemu
Elektronika - czasopismo - materiały
Electronic - journal - materials - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych