- Tytuł:
-
Materiały Elektroniczne 1981 nr 3/4(35/36)
Wpływ stanu powierzchni i krzemu na pomiar rezystywności metodą "oporności rozpływu"
Wpływ stanu powierzchni i krzemu na pomiar rezystywności metodą "oporności rozpływu" = The influence of the surface conditions on the resistivity measurements of silicon by the spreading resistance method - Autorzy:
- Brzozowski Andrzej
- Współwytwórcy:
- Tomaszewski Jacek
- Data publikacji:
- 1982
- Wydawca:
- Wydaw. Przemysłu Maszynowego "WEMA"
- Słowa kluczowe:
-
płytka krzemowa
sprending resistance method
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
rezystywność
Si wafer
resistivity
metoda oporności rozpływu
Elektronika - czasopismo - materiały
Electronic - journal - materials - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych