- Tytuł:
-
Zdejmowanie cienkich warstw z płytek krzemowych metodą utleniania anodowego i rozpuszczania utworzonego tlenku = Removal of thin layers from silicon wafersby means of an anodic oxidation and dissolution of the oxides formed
Materiały Elektroniczne 1976 nr 3(15)
Zdejmowanie cienkich warstw z płytek krzemowych metodą utleniania anodowego i rozpuszczania utworzonego tlenku - Autorzy:
- Jaskólska Halina
- Współwytwórcy:
-
Waliś Lech
Gołkowska Anna - Data publikacji:
- 1976
- Wydawca:
- Wydaw. Przemysłu Maszynowego WEMA
- Słowa kluczowe:
-
anodic oxidation
Si
zdejmowanie warstw cienkich
Electronic - materials
Materiały elektroniczne
removal of thin layers
utolenianie anodowe
Electronic - journal - materials
Elektronika - czasopismo - materiały
dissolution of oxide - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- RCIN - Repozytorium Cyfrowe Instytutów Naukowych
Książka