- Tytuł:
- Badanie odkształceń sieci krystalicznej w implantowanej warstwie epitaksjalnej GaN osadzonej metodą MOCVD na podłożu szafirowym o orientacji [001]
- Autorzy:
-
Wójcik, M.
Gaca, J.
Wierzbicka, E.
Turos, A.
Strupiński, W.
Caban, P.
Sathish, N.
Pągowska, K. - Data publikacji:
- 2011
- Słowa kluczowe:
-
HRXRD
implementacja jonowa
dyfrakcja
ion implantation
diffraction - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł