- Tytuł:
- Wielofunkcyjne cienkie warstwy wytwarzane w magnetronowym reaktorze plazmochemicznym
- Autorzy:
- Dudek, M.
- Data publikacji:
- 2010
- Słowa kluczowe:
-
rozpylanie magnetronowe
magnetronowy reaktor plazmochemiczny
ITO
tlenek indium domieszkowany cyną
magnetron sputtering
magnetron plasmochemical reactor
indium tin oxide - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł