- Tytuł:
- Badanie wpływu wybranych parametrów cyklicznego procesu mokrego trawienia chemicznego epitaksjalnych warstw InAs
- Autorzy:
-
Boguski, Jacek
Józwowicz, jakub
Nyga, Małgorzta
Złotnik, Sebastian
Wróbel, Jarosław - Data publikacji:
- 2022
- Słowa kluczowe:
-
mokre trawienie chemiczne
chropowatość
głębokość trawienia
warstwa epitaksjalna InAs
wet chemical etching
etch depth
roughness
InAs epitaxial layers - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł