- Tytuł:
- Konstrukcja i badania interferometru laserowego bazującego na elementach dyfrakcyjnych dedykowanego do pomiarów M(O)EMS
- Autorzy:
-
Jóźwik, M.
Liżewski, K.
Zeitner, U. D.
Haugholt, K. - Data publikacji:
- 2010
- Słowa kluczowe:
-
dyfrakcyjny element optyczny
interferometr Twyman-Greena
MEMS/MOEMS
diffractive optical elements
Twyman-Green interferometer
MEMS/MOEMS testing - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech