- Tytuł:
- Lateral Force Calibration Method Used for Calibration of Atomic Force Microscope
- Autorzy:
-
Ekwińska, M.
Rymuza, Z. - Data publikacji:
- 2009
- Słowa kluczowe:
-
AFM
calibration structure
cantilever
MEMS - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech