- Tytuł:
- Ultrathin oxynitride films for CMOS technology
- Autorzy:
-
Beck, R.B.
Jakubowski, A. - Data publikacji:
- 2004
- Słowa kluczowe:
-
MOS technology
gate stack
ultrathin oxynitride layers
high temperature processing
plasma processing - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł