- Tytuł:
- Termooptyczne właściwości warstw a-C:N:H
- Autorzy:
-
Tkacz-Śmiech, K.
Jaglarz, J.
Pieczyńska, E.
Marszałek, K. - Data publikacji:
- 2014
- Słowa kluczowe:
-
warstwy a-C:N:H
PACVD
elipsometria spektroskopowa
współczynniki termooptyczne
a-C:N:H layers
ellipsometry
thermo-optical parameters - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech