- Tytuł:
- Characterization of a-C:N:H, a-SiNx:H and a-SiCx:Ny:H layers deposited on various substrates
- Autorzy:
- Dyndał, K.
- Data publikacji:
- 2018
- Słowa kluczowe:
-
PACVD
amorphous layer
spectroscopic ellipsometry
optical properties
warstwy amorficzne
elipsometria spektroskopowa
właściwości optyczne - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech