- Tytuł:
- Wpływ procesów utleniania i wygrzewania w atmosferze zawieraj ˛acej fosfor lub azot na jakos´c mi ˛ ´ edzypowierzchni dielektryk/półprzewodnik w strukturze MOS Ti/SiO2/4H-SiC
- Autorzy:
-
Kamiński, Maciej
Brzozowski, Ernest
Taube, Andrzej
Sadowski, Oskar
Król, Krystian
Guziewicz, Marek - Data publikacji:
- 2021
- Słowa kluczowe:
-
SiC
stan powierzchniowy
dielektryk bramkowy
międzypowierzchnia dielektryk/półprzewodnik
POCl3
NO
surface state
gate dielectrics
semiconductor/dielectric interface - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł