- Tytuł:
- Modułowe urządzenie próżniowe do badań procesów PVD i CVD oraz pilotowych wdrożeń technologii przemysłowych
- Autorzy:
-
Samborski, T.
Kozioł, S.
Matecki, K. - Data publikacji:
- 2009
- Słowa kluczowe:
-
urządzenie próżniowe modułowe
badania procesów PVD i CVD
wdrażanie
wdrożenie przemysłowe pilotowe
Instytut Technologii Eksploatacji
modular vacuum device
PVD and CVD process examining
implementation
pilot industrial application
Institute for Sustainable Technologies - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł