- Tytuł:
- Internal Friction and Young's Modulus Measurements on SiO2 and Ta2O5 Films Done with an Ultra-High Q Silicon-Wafer Suspension
- Autorzy:
-
Granata, M.
Balzarini, L.
Degallaix, J.
Dolique, V.
Flaminio, R.
Forest, D.
Hofman, D.
Michel, C.
Pedurand, R.
Pinard, L.
Sassolas, B.
Straniero, N.
Teillon, J.
Cagnoli, G. - Data publikacji:
- 2015
- Słowa kluczowe:
-
ultra low loss suspensions
Q measurements
optical dielectric coatings
silica
tantala Ta2O5
thin films
niskie straty układu zawieszenia
pomiar Q
optyczne powłoki dielektryczne
krzemionka
tantal Ta2O5
cienkie warstwy - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł