- Tytuł:
- Thin SixCyNz:H coatings deposited with the RF PECVD method
- Autorzy:
-
Oleśko, K.
Szymanowski, H.
Gazicki-Lipman, M.
Balcerzak, J.
Sobczyk-Guzenda, A. - Data publikacji:
- 2018
- Słowa kluczowe:
-
SixCyNz:H coatings
RF PECVD method
chemical bonding
optical properties
interference filter
powłoki SixCyNz:H
metoda RF PECVD
struktura chemiczna
właściwości optyczne
filtry interferencyjne - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł