- Tytuł:
- Plasma emission spectroscopy as a monitoring tool for deposition of S-phase layers by magnetron sputtering
- Autorzy:
-
Suszko, T.
Jahodowa, V.
Gulbiński, W. - Data publikacji:
- 2015
- Słowa kluczowe:
-
expanded austenite
S-phase
optical emission spectroscopy
process control
magnetron sputtering
rozszerzony austenit
faza S
optyczna spektroskopia emisyjna
kontrola procesu
rozpylanie magnetronowe - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł