- Tytuł:
- Wytwarzanie warstw wieloskładnikowych metodą rozpylania magnetronowego
- Autorzy:
-
Adamiak, B.
Domaradzki, J.
Kaczmarek, D.
Mazur, M.
Wojcieszak, D.
Szatkowski, A.
Lis, M.
Kurnatowska, M.
Kępiński, L.
Mazur, P. - Data publikacji:
- 2013
- Słowa kluczowe:
-
cienkie warstwy wieloskładnikowe
wielotargetowe stanowisko do rozpylania magnetronowego
Ti-Cu
target stopowy
target proszkowy
metoda SPS
multicomponent thin films
multitarget sputtering
powder target
alloy target
SPS method - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł