- Tytuł:
- Sterowanie i pomiar planarnych aktuatorów elektrostatycznych
- Autorzy:
-
Palczyńska, A.
Ekwińska, M.
Janus, P.
Grabiec, P.
Gotszalk, T. - Data publikacji:
- 2012
- Słowa kluczowe:
-
aktuatory elektrostatyczne
interferometr światłowodowy
czujnik natężeniowy
siła elektrostatyczna
electrostatic actuators
fiber interferometer
proximity sensor
electrostatic force - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł