- Tytuł:
- UHV plasma enhanced CVD system for preparation of new generation amorphous silicon based efficient solar cells
- Autorzy:
-
Jonas, S.
Rava, P.
Stapinski, T.
Walasek, E. - Data publikacji:
- 2001
- Słowa kluczowe:
-
amorphous silicon
plasma enhanced chemical vapour deposition
microwave plasma chemical vapour deposition
passivation
solar cells - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł