- Tytuł:
- Structural, Electrical, and Optical Properties of ZnO Films Grown by Atomic Layer Deposition at Low Temperature
- Autorzy:
-
Park, Ji-Young
Weon, Ye Bin
Jung, Myeong Jun
Choi, Byung Joon - Data publikacji:
- 2022
- Słowa kluczowe:
-
zinc oxide
ZnO
atomic layer deposition
low temperature growth
optoelectronic properties - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech