- Tytuł:
- Wpływ parametrów procesu MWCVD na strukturę i właściwości warstw typu a-SiCxNy:H
- Autorzy:
-
Kluska, S.
Jonas, S.
Kozak, Ł. - Data publikacji:
- 2006
- Słowa kluczowe:
-
wpływ parametrów procesu MWCVD
właściwości tribologiczne warstw a-SiCxNy:H
badania struktury warstw - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł