- Tytuł:
- Wytwarzanie, trawienie plazmowe i właściwości cienkich warstw BaTiO3 do zastosowań elektronicznych
- Autorzy:
-
Firek, P.
Werbowy, A.
Kwietniewski, N.
Szmidt, J.
Olszyna, A.
Ćwil, M. - Data publikacji:
- 2008
- Słowa kluczowe:
-
tytanian baru
osadzanie w plazmie impulsowej
rozpylanie w plazmie o częstotliwości radiowej
morfologia powierzchni
właściwości elektryczne
trawienie plazmowe
barium titanate
impulse plasma ablation deposition
radio frequency plasma sputerring deposition
surface morphology
electrical propeties
plasma etching - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł