- Tytuł:
- Analiza profilowa układów warstwowych metodą spektrometrii mas wyładowania jarzeniowego
- Autorzy:
-
Konarski, P.
Kaczorek, K. - Data publikacji:
- 2008
- Słowa kluczowe:
-
spektrometria mas
wyładowanie jarzeniowe
GDMS
analiza profilowa
cienkie warstwy
twarde pokrycia
TiN
CrN
mass spectrometry
glow discharge
depth profile analysis
thin films
hard coatings - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech