- Tytuł:
- Analiza dokładności pomiarów nanometrycznych wzorców mikrogeometrii powierzchni za pomocą mikrointerferometru i profilometru stykowego
- Autorzy:
- Ślusarski, Ł.
- Data publikacji:
- 2018
- Słowa kluczowe:
-
nanometrology
depth/height standards
microinterferometry
contact profilometry
nanometrologia
wzorce schodkowe
mikrointerferometr
profilometr stykowy - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł