- Tytuł:
- Diagnozowanie procesu reaktywnego rozpylenia
- Autorzy:
- Brudnik, A.
- Data publikacji:
- 2011
- Słowa kluczowe:
-
reaktywne rozpylanie magnetronowe
OES
diagnostyka plazmy
reactive magnetron sputtering
plasma processes diagnostics - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł