- Tytuł:
- The influence of the electrical field on structures dimension measurement in electrostatic force microscopy mode
- Autorzy:
- Sikora, A.
- Data publikacji:
- 2009
- Słowa kluczowe:
-
atomic force microscopy (AFM)
electrostatic force microscopy (EFM)
dimensions measurement accuracy - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech