- Tytuł:
- Właściwości elektryczne i optyczne cienkich warstw WOx wytwarzanych metodą rozpylania magnetronowego i analiza ich współczynnika doskonałości
- Autorzy:
-
Dybała, Julia
Mazur, Michał - Data publikacji:
- 2022
- Słowa kluczowe:
-
rozpylanie magnetronowe
cienkie warstwy
tlenek wolframu
właściwości optyczne
właściwości elektryczne
magnetron sputtering
thin films
tungsten oxide
optical properties
electrical properties - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech