- Tytuł:
- Metrology and control of electromagnetically actuated cantilevers using optical beam deflection method
- Autorzy:
-
Kopiec, Daniel
Majstrzyk, Wojciech
Pruchnik, Bartosz
Gacka, Ewelina
Badura, Dominik
Sierakowski, Andrzej
Janus, Paweł
Gotszalk, Teodor - Data publikacji:
- 2021
- Słowa kluczowe:
-
optical beam deflection
thermomechanical noise
low frequency noise
electromagnetically actuated cantilever
Lorentz force - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł