- Tytuł:
- Moduł optycznej diagnostyki plazmy stanowiska do badań technologii PVD
- Autorzy:
-
Przybylski, J.
Majcher, A. - Data publikacji:
- 2013
- Słowa kluczowe:
-
OES
spektroskopia emisyjna
system sterowania
plazma
PVD
emission spectroscopy
control system
plasma - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech
Artykuł