- Tytuł:
- Epitaksja węglika krzemu metodą CVD
- Autorzy:
-
Strupiński, W.
Kościewicz, K.
Wesołowski, M. - Data publikacji:
- 2008
- Słowa kluczowe:
-
SiC
węglik krzemu
epitaksja
CVD
warstwy epitaksjalne
silicon carbide
epitaxy
epitaxial layers - Pokaż więcej
- Dostawca treści:
- BazTech